您的位置:首頁 > 信息動態 > 行業動態

液化三氟化氮有什么危害？

來源：www.nodspot.com 發布時間：2022年12月10日

液化三氟化氮化學式NF?，在常溫下是一種無色、無臭、性質穩定的氣體，是一種強氧化劑。液化三氟化氮在微電子工業中作為一種優良的等離子蝕刻氣體，在離子蝕刻時裂解為活性氟離子，這些氟離子對硅和鎢化合物，高純液化三氟化氮具有好的蝕刻速率和選擇性（對氧化硅和硅），它在蝕刻時，在蝕刻物表面不留任何殘留物，是非常良好的清洗劑，同時在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用。

液化三氟化氮是低毒性物質，但是它能強烈刺激眼睛、皮膚和呼吸道粘膜，腐蝕組織。吸入高濃度NF3可引起頭痛、嘔吐和腹瀉。長期吸入低濃度NF3能損傷牙齒和骨骼，使牙齒生黃斑，骨骼成畸形。具有強氧化性。與還原劑能發生強烈反應，引起燃燒爆炸。與易燃物(如苯)和有機物(如糖、纖維素等)接觸會發生劇烈反應，甚至引起燃燒。受高熱發生劇烈分解，甚至發生爆炸。大鼠吸入1000ppm·l小時末見死亡，但出現高鐵血紅蛋白血癥，當吸入10000ppm·l小時有死亡，在2500ppm時吸入毒后4小時死亡。高容許濃度：10ppm(29mg/m3)。

如何才能不超過這個10ppm濃度限制呢？就需要用到液化三氟化氮檢測儀，使用液化三氟化氮氣體濃度檢測儀可以檢測其濃度，固定式液化三氟化氮檢測儀安裝于氣體易泄露的地點，其核心部件為氣體傳感器，當液化三氟化氮泄露后揮發出來的氣體傳感器接觸反應，固定式液化三氟化氮監測儀便會啟動自身的報警功能聲光報警，警醒工作人員。

上一條 工業乙炔主要用途是什么 下一條 廈門高純六氟化硫回收凈化系統的特點有哪些

返回列表